1. Принцип работы и структура криогенного вакуумного насоса
Криогенный вакуумный насос — это вакуумный насос, который использует низкотемпературную поверхность ниже 20 К для конденсации и адсорбции газа, также известный как холодный насос и конденсатный насос, который обычно использует криогенную жидкость (жидкий азот или жидкий гелий) или криогенный холодильник в качестве источника холода.
2. Каковы области применения криогенных вакуумных насосов?
Криогенные насосы подходят для применений, требующих высокого вакуума, особенно в тех областях, где требуется чистая, безмасляная или быстрая откачка, таких как предварительная обработка полупроводников и интегральных схем, нанесение оптических покрытий, производство солнечных батарей, оптоэлектроники и вакуумной электроники, нанесение покрытий на плоские панели дисплеев и т.д.
3. Принцип работы и структура криогенного вакуумного насоса
Криогенный вакуумный насос в основном состоит из корпуса насоса, перегородки и холодного экрана, холодной головки, вторичной холодной пластины и т.д., и его принцип действия: опираясь на холодную энергию, предоставляемую источником холода, чтобы охладить поверхностный газ до низкой температуры конденсации при падении давления, и неконденсируемый газ адсорбируется твердым адсорбентом при низкой температуре, чтобы достичь эффекта выхлопа и получить чистый вакуум, основная роль низкотемпературной откачки заключается в низкотемпературной конденсации, низкотемпературной адсорбции и низкотемпературном захвате.
4. преимущества криогенных вакуумных насосов
1. Высокий предельный вакуум
Предельный вакуум стандартного криогенного вакуумного насоса может достигать 10-7 Па, а при необходимости он может достичь и 10-9 Па без других вспомогательных насосов, а теоретически даже достичь чрезвычайно высокого вакуума — более 10-11 Па.
2. Большая скорость перекачки
Скорость откачки криогенного вакуумного насоса высока, особенно для воды, что намного выше, чем у других вакуумных насосов
