1. Principe et structure de la pompe à vide cryogénique
La pompe à vide cryogénique est une pompe à vide qui utilise une surface à basse température inférieure à 20 K pour condenser et adsorber le gaz, également connue sous le nom de pompe à froid et de pompe à condensat, qui utilise généralement un liquide cryogénique (azote liquide ou hélium liquide) ou un réfrigérateur cryogénique comme source de froid.
2. Quels sont les domaines d’application des pompes à vide cryogéniques ?
Les pompes cryogéniques conviennent aux applications qui requièrent un vide poussé, en particulier aux applications qui nécessitent un pompage propre, sans huile ou rapide, telles que le prétraitement des semi-conducteurs et des circuits intégrés, le revêtement optique, les panneaux solaires, la fabrication optoélectronique et électronique sous vide, le revêtement des dispositifs d’affichage à écran plat, etc.
3. Principe et structure de la pompe à vide cryogénique
La pompe à vide cryogénique est principalement composée d’un corps de pompe, d’un déflecteur et d’un écran froid, d’une tête froide, d’une plaque froide secondaire, etc. Son principe d’action est le suivant : en s’appuyant sur l’énergie froide fournie par la source froide, le gaz de surface est refroidi jusqu’à la condensation à basse température lorsque la pression chute, et le gaz non condensable est adsorbé par l’adsorbant solide à basse température, de manière à obtenir l’effet d’échappement et un vide propre, le rôle principal du pompage à basse température étant la condensation à basse température, l’adsorption à basse température et le captage à basse température.
4. les avantages des pompes à vide cryogéniques
1. Vide limite élevé
Le vide limite d’une pompe à vide cryogénique standard peut atteindre 10-7Pa et, si nécessaire, 10-9Pa sans autres pompes auxiliaires, et même théoriquement un vide extrêmement élevé de plus de 10-11Pa.
2. Grande vitesse de pompage
La vitesse de pompage de la pompe à vide cryogénique est rapide, en particulier pour l’eau, ce qui est beaucoup plus élevé que celle des autres pompes à vide.
