1. Principio y estructura de la bomba de vacío criogénica
La bomba de vacío criogénica es una bomba de vacío que utiliza una superficie de baja temperatura por debajo de 20K para condensar y adsorber gas, también conocida como bomba de frío y bomba de condensado, que generalmente utiliza líquido criogénico (nitrógeno líquido o helio líquido) o refrigerador criogénico como fuente de frío.
2. ¿Cuáles son los campos de aplicación de las bombas de vacío criogénicas?
Las bombas criogénicas son adecuadas para aplicaciones que requieren alto vacío, especialmente en aplicaciones que requieren un bombeo limpio, sin aceite o rápido, como el preprocesamiento de semiconductores y circuitos integrados, el revestimiento óptico, los paneles solares, la fabricación de optoelectrónica y electrónica de vacío, el revestimiento de dispositivos de pantalla plana, etc.
3. Principio y estructura de la bomba de vacío criogénica
La bomba de vacío criogénica se compone principalmente de la carcasa de la bomba, el deflector y la pantalla fría, el cabezal frío, la placa fría secundaria, etc., y su principio de acción es: basándose en la energía fría proporcionada por la fuente de frío para hacer que el gas superficial se enfríe a baja temperatura de condensación cuando la presión cae, y el gas no condensable es adsorbido por el adsorbente sólido a baja temperatura, a fin de lograr el efecto de escape y obtener un vacío limpio, el papel principal del bombeo a baja temperatura es la condensación a baja temperatura, la adsorción a baja temperatura y la captura a baja temperatura.
4. ventajas de las bombas de vacío criogénicas
1. Alto vacío final
El vacío final de una bomba de vacío criogénica estándar puede alcanzar 10-7Pa, y si es necesario, también puede alcanzar 10-9Pa sin otras bombas auxiliares, y teóricamente, incluso alcanzar un vacío extremadamente alto de más de 10-11Pa.
2. Gran velocidad de bombeo
La velocidad de bombeo de la bomba de vacío criogénica es rápida, especialmente para el agua, que es mucho mayor que la de otras bombas de vacío.
