1. مبدأ وهيكل مضخة التفريغ بالتبريد وهيكلها
مضخة التفريغ المبردة هي مضخة تفريغ تستخدم سطحًا بدرجة حرارة منخفضة أقل من 20 كلفن لتكثيف الغاز وامتصاصه، وتُعرف أيضًا باسم المضخة الباردة ومضخة المكثفات، والتي تستخدم عمومًا سائلًا مبردًا (نيتروجين سائل أو هيليوم سائل) أو ثلاجة مبردة كمصدر تبريد.
2. ما هي مجالات استخدام مضخات التفريغ بالتبريد؟
تعد المضخات المبردة مناسبة للتطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا، خاصةً في التطبيقات التي تتطلب ضخًا نظيفًا وخاليًا من الزيت أو سريعًا، مثل المعالجة المسبقة لأشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، والطلاء البصري، والألواح الشمسية، وتصنيع الإلكترونيات الضوئية والإلكترونيات الفراغية، وطلاء أجهزة العرض المسطحة، وما إلى ذلك.
3. مبدأ وهيكل مضخة التفريغ بالتبريد والتبريد
تتكون مضخة التفريغ المبردة بشكل أساسي من غلاف المضخة، والحاجز والشاشة الباردة، والرأس البارد، واللوحة الباردة الثانوية، وما إلى ذلك، ومبدأ عملها هو: الاعتماد على الطاقة الباردة التي يوفرها المصدر البارد لجعل الغاز السطحي يبرد إلى تكثيف بدرجة حرارة منخفضة عند انخفاض الضغط، ويتم امتصاص الغاز غير القابل للتكثيف بواسطة المادة الممتزة الصلبة عند درجة حرارة منخفضة، وذلك لتحقيق تأثير العادم والحصول على تفريغ نظيف، والدور الرئيسي للضخ بدرجة حرارة منخفضة هو التكثيف بدرجة حرارة منخفضة، والامتزاز بدرجة حرارة منخفضة والتقاط درجة حرارة منخفضة.
4 – مزايا مضخات التفريغ المبردة
1. تفريغ نهائي عالٍ
يمكن أن يصل التفريغ النهائي لمضخة التفريغ بالتبريد القياسية إلى 10-7 باسكال، وإذا لزم الأمر، يمكنها أيضًا تحقيق 10-9 باسكال بدون مضخات مساعدة أخرى، بل ويمكنها نظريًا الوصول إلى تفريغ عالي للغاية يزيد عن 10-11 باسكال.
2. سرعة ضخ كبيرة
سرعة الضخ لمضخة التفريغ المبردة سريعة، خاصة بالنسبة للماء، وهي أعلى بكثير من مضخات التفريغ الأخرى
